レーザ用光学素子の汚れ防止装置及び方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：青木篤 , 石田敬 , 古賀哲次 , 亀松宏 , 永坂友康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-113327
公開番号（公開出願番号）：特開2007-283354
出願日： 2006年04月17日
公開日（公表日）： 2007年11月01日
要約：

【課題】劣悪環境下でのレーザ加工において、光学素子のくもり、汚れ等の白濁発生を防止することにより、安定したレーザ加工を実現する方法を提供する。【解決手段】光学素子2表面の帯電極性や帯電量を検出する静電気極性判定センサ5、前記帯電極性や帯電量の検出値に基づいて逆性イオンを含むパージガス6を前記光学素子表面に吹きつけるイオン発生装置4、及び、前記光学素子2を挟んで前記イオン発生装置4に対向する、前記パージガス6によって吹き飛ばされた埃や塵を集めるための集塵ボックス8からなることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レーザビームを被加工材に光学素子を用いて伝送し、集光・照射して加工するレーザ加工装置に用いる光学素子の汚れ防止装置であって、前記光学素子表面の帯電極性や帯電量を検出する静電気極性判定センサ、前記帯電極性や帯電量の検出値に基づいて、逆性イオンを含むパージガスを前記光学素子表面に吹きつけるイオン発生装置、及び、前記光学素子を挟んで前記イオン発生装置に対向する、前記パージガスによって吹き飛ばされた埃や塵を集めるための集塵ボックスからなることを特徴とするレーザ用光学素子の汚れ防止装置。

IPC (1件)：

B23K 26/14

FI (1件)：

B23K26/14 A

Fターム (5件)：

4E068CC00 , 4E068CG01 , 4E068CH04 , 4E068CH08 , 4E068CJ01

引用特許：

出願人引用 (1件)

レーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-138085 出願人：三菱電機株式会社

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