特許
J-GLOBAL ID:200903033765261202
合成石英ガラス製造用バーナー
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
小島 隆司
, 重松 沙織
, 小林 克成
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-079399
公開番号(公開出願番号):特開2004-284886
出願日: 2003年03月24日
公開日(公表日): 2004年10月14日
要約:
【解決手段】シリカ原料化合物を供給する中心管、この中心管を囲繞し、支燃性ガスを供給する第1の包囲管、この第1の包囲管を囲繞し、燃性ガスを供給する第2の包囲管を備えた少なくとも三重管構造を有する多重管と、この多重管を囲繞し、燃性ガスを供給する第1の外殻管と、この第1の外殻管内に配設され、支燃性ガスを供給する複数の第1のノズルと、前記第1の外殻管を囲繞し、燃性ガスを供給する第2の外殻管と、この第2の外殻管内に配設され、支燃性ガスを供給する複数の第2のノズルとを備えた主バーナーを具備することを特徴とする合成石英ガラス製造用バーナー。【効果】本発明によれば、光学的により高均質の合成石英ガラスインゴットを得ることができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
シリカ原料化合物を供給する中心管、この中心管を囲繞し、支燃性ガスを供給する第1の包囲管、この第1の包囲管を囲繞し、燃性ガスを供給する第2の包囲管を備えた少なくとも三重管構造を有する多重管と、この多重管を囲繞し、燃性ガスを供給する第1の外殻管と、この第1の外殻管内に配設され、支燃性ガスを供給する複数の第1のノズルと、前記第1の外殻管を囲繞し、燃性ガスを供給する第2の外殻管と、この第2の外殻管内に配設され、支燃性ガスを供給する複数の第2のノズルとを備えた主バーナーを具備することを特徴とする合成石英ガラス製造用バーナー。
IPC (3件):
C03B8/04
, F23D14/52
, F23D14/58
FI (3件):
C03B8/04 G
, F23D14/52 B
, F23D14/58 A
Fターム (7件):
3K017CA07
, 3K017CB02
, 3K017CD01
, 3K017CD03
, 3K017CF03
, 3K017CH02
, 4G014AH16
引用特許:
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