特許
J-GLOBAL ID：200903040168084851
合成石英ガラス光学部材の製造方法および光学部材
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-124529
公開番号（公開出願番号）：特開平10-316435
出願日： 1997年05月14日
公開日（公表日）： 1998年12月02日
要約：
【要約】【課題】 二次処理で水素分子を大口径の石英ガラス光学部材に均一に導入するには、拡散係数から考えてもかなりの長時間を有し、中央部の水素分子濃度が周辺部に比べ小さくなる。【解決手段】 水素分子の導入を合成時に行うことにより水素分子導入のための二次処理が不要になることに着目し、多重管構造のバーナを用いて水素分子を合成時に石英ガラスに導入する製造方法を提供する。
請求項（抜粋）：
中心部に配置されかつ原料を噴出するための第一の管と、該第一の管の周囲に同心円状に配置されかつ酸素ガスを噴出するための第二の管と、該第二の管の周囲に同心円状に配置されかつ水素ガスを噴出するための第三の管と、該第三の管の周囲に同心円状に配置されかつ水素ガスを噴出するための第四の管と、該第三の管の外周と該第四の管の内周との間に配置されかつ酸素ガスを噴出するための複数の第五の管と、該第四の管の周囲に同心円状に配置されかつ水素ガスを噴出するための第六の管と、該第四の管の外周と該第六の管の内周との間に配置されかつ酸素ガスを噴出するための複数の第七の管と、を備えたバーナを用い、第六の管から噴出させる水素ガスの流速を4m/s以上7m/s以下とし、かつ第六の管から噴出させる水素ガスの流速に比べ第七の管から噴出させる酸素ガスの流速を大きくして製造することを特徴とする合成石英ガラス光学部材の製造方法。
IPC (3件)：
C03B 8/04
, C03B 20/00
, G02B 1/00
C03B 8/04
, C03B 20/00
, G02B 1/00
