能動除振装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-084706
公開番号（公開出願番号）：特開平10-259851
出願日： 1997年03月19日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】【課題】支持対象である除振台以外の振動成分による影響を補償または除外して、除振装置のスピルオーバ現象や性能劣化を回避する。【解決手段】アクチュエータと振動検出手段とを有し、除振台を支持する除振マウントと、該振動検出手段の出力に基づいてアクチュエータを駆動する制御手段とを有する除振装置において、該制御手段は、該振動検出手段の出力を高域周波数成分と低域周波数成分に分離し、それぞれ異なる補償を施してアクチュエータを駆動する。または、前記振動検出手段を前記除振マウント側から切り離して除振台の側に固定する。

請求項（抜粋）：

精密機器を搭載する除振台と、前記除振台を支持する防振支持機構と、前記除振台に制御力を加える複数のアクチュエータと、前記除振台の振動を検出する複数の振動検出手段と、前記振動検出手段の出力信号のうち予め定められた周波数より低い周波数成分のみを通過させるローパスフィルタと、前記振動検出手段の出力信号のうち予め定められた周波数より高い周波数成分のみを通過させるハイパスフィルタと、前記ローパスフィルタの出力信号として得られる前記振動検出手段の出力信号のうち予め定められた周波数より低い周波数成分の抽出信号に基づき前記除振台の並進、回転などの各運動モードの振動信号を抽出する運動モード抽出手段と、前記運動モード抽出手段の出力信号を適切に補償する第1の補償演算手段と、前記第1の補償演算手段によって得られた各運動モードの補償信号を複数の前記アクチュエータの駆動指令信号として分配する推力分配手段と、前記ハイパスフィルタの出力信号を補償する第2の補償演算手段と、前記推力分配手段と前記第2の補償演算手段双方の出力信号を加算して前記アクチュエータにフィードバックする手段とを備えたことを特徴とする能動除振装置。

IPC (2件)：

F16F 15/02 , H01L 21/027

FI (2件)：

F16F 15/02 A , H01L 21/30 503 F

引用特許：

審査官引用 (7件)

能動型除振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-158542 出願人：オリンパス光学工業株式会社
鉛直方向空気ばね式除振台の制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-231135 出願人：キヤノン株式会社
鉛直方向除振台の制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-175957 出願人：キヤノン株式会社

全件表示

前のページに戻る