特許
J-GLOBAL ID:200903033778135753
垂直磁化膜およびその製造法ならびに 光磁気記録媒体
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-160407
公開番号(公開出願番号):特開平9-306736
出願日: 1996年05月17日
公開日(公表日): 1997年11月28日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】合金垂直磁化膜および製造法ならびに光磁気記録媒体を提供する。【解決手段】100Å以下の厚さの単体金属あるいは合金からなるシード層を成膜し、次いで100〜1000°Cの基板温度で5μm以下(0を含まず)の厚さの面心立方金属からなるバッファ層を成膜し、次いで基板温度400〜700°Cで該バッファ層上に一般式(FeaCo1-a)100-x-yPtxMyで表わされ、副成分MはBe、B、C、Mg、Al、Si、Ti、V、Cr、Ni、Mn、Cu、Ge、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Ag、In、Sn、Sb、希土類元素、Hf、Ta、W、Re、OS、Ir、Au、Biのうちから選択される1種または2種以上の元素であり、その組成比aと原子比率x、yは0≦a≦1.045≦x≦750≦y≦15である組成と少量の不純物からなる500Å以下(0を含まず)の厚さの層を積層してなる。
請求項(抜粋):
単結晶基板上に、5μm以下(0を含まず)の厚さの面心立方金属からなるバッファ層と、該バッファ層上に一般式(FeaCo1-a)100-xPtxで表わされ、組成比aと原子比率xは0≦a≦1.045≦x≦75である組成と少量の不純物からなる500Å以下(0を含まず)の厚さの合金層を積層してなり、極磁気カー回転角が最大0.3 ゚以上であり、保磁力が1000Oe以上を有することを特徴とする角型性に優れた垂直磁化膜。
IPC (6件):
H01F 10/16
, C22C 38/00 303
, G11B 11/10 501
, G11B 11/10 506
, G11B 11/10 541
, H01F 41/18
FI (6件):
H01F 10/16
, C22C 38/00 303 A
, G11B 11/10 501 Z
, G11B 11/10 506 B
, G11B 11/10 541 B
, H01F 41/18
引用特許:
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