ダウンフロー方式のクリーンルームの拍動気流制御方法及びその装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：古谷史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-291652
公開番号（公開出願番号）：特開平6-137624
出願日： 1992年10月29日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：

【要約】【目的】渦領域を解消し、塵埃の早急な排出を可能とし、高い清浄度が必要な部分に外部よりの塵埃侵入を防ぐことを可能としたダウンフロー方式のクリーンルームにおける拍動気流制御方法及びその装置を提供することにある。【構成】天井に配設した空気吹出口から下方へ吹き出す空気をエアフィルタで浄化して生産装置を設置した画室内に供給し、その画室内で発生する塵埃等で汚れた前記空気を有孔床の通気孔から吸い出して画室内を浄化するダウンフロー方式のクリーンルームの浄化方法において、前記画室内に設置した生産装置の上方からエアフィルタで浄化した空気を前記生産装置の製品保管領域に送風する送風機付きフィルタユニットを設けるとともに、前記画室内の空気を吸引する送風機を前記有孔床内に設け、前記フィルタユニットの送風機と有孔床の送風機との風速を、制御して拍動気流とするように構成した。

請求項（抜粋）：

天井に配設した空気吹出口から下方へ吹き出す空気をエアフィルタで浄化して生産装置を設置した画室内に供給し、その画室内で発生する塵埃等で汚れた前記空気を有孔床の通気孔から吸い出して画室内を浄化するダウンフロー方式のクリーンルームの浄化方法において、前記画室内に設置した生産装置の上方からエアフィルタで浄化した空気を前記生産装置の製品保管領域に送風する送風機付きフィルタユニットを設けるとともに、前記画室内の空気を吸引する送風機を前記有孔床内に設け、前記フィルタユニットの送風機と有孔床の送風機との風速を、制御して拍動気流とすることを特徴とするダウンフロー方式のクリーンルームの拍動気流制御方法。

引用特許：

出願人引用 (10件)

特開平2-213633
特開平2-025651
特開昭60-048431

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