放電特性評価方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 青山正和 , 高柴忠夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-015774
公開番号（公開出願番号）：特開2005-207927
出願日： 2004年01月23日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：

【課題】静電破壊防止用具について、短い波形周期を有する放電に対する特性を評価することができる放電特性評価方法を提供すること。【解決手段】 (a)評価対象の導電マット1の表面に環状の電流プローブ3を設置する。(b)評価対象の導電マット1の上に載置されるべき半導体装置(図示なし)を取り扱うための器具に対応する金属部材7を所定電圧にバイアスし、この金属部材7の容量8を充電する。(c)電流プローブ3の入力電流経路(破線)に沿って金属部材7を移動させ、評価対象の導電マット1の表面に接触させる。(d)電流プローブ3の出力信号に基づき、金属部材7の容量8に充電された電荷の放電量を観測する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

(a)評価対象のマット状の部材の表面に環状の電流プローブを設置するステップと、 (b)前記評価対象の部材の上に載置されるべき半導体装置を取り扱うための器具に対応する金属部材を所定電圧にバイアスして該金属部材の容量を充電するステップと、 (c)前記電流プローブの入力電流経路に沿って前記金属部材を移動させて前記評価対象の部材の表面に接触させるステップと、 (d)前記電流プローブの出力信号に基づき、前記金属部材の容量に充電された電荷の放電量を観測するステップと、を含む放電特性評価方法。

IPC (1件)：

G01R31/00

FI (1件)：

G01R31/00

Fターム (3件)：

2G036AA13 , 2G036BA46 , 2G036CA12

引用特許：

出願人引用 (1件)

部品把持具
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-193753 出願人：日本電気株式会社

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