特許

J-GLOBAL ID：200903033821632944

プローブ基板

発明者： 斉藤 公義
出願人/特許権者： 東邦電子株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-039250
公開番号（公開出願番号）：特開平6-230033
出願日： 1993年02月04日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】【目的】 プローブの小ピッチ化を容易にすると共に、被検査体に対するプローブの圧力、及び、プローブの耐久性を安定したものにする。【構成】 プローブ4を、先鋭な先端4aを有した板状の弾性材により形成し、それぞれのプローブを、それぞれの幅広面が絶縁物10を介して対向するように、プローブ支持部材5に所定の傾きをもって固定するようにし、プローブを板状にすることでその剛性を高め、かつ、プローブの厚み及びそれぞれのプローブ間を絶縁する絶縁物の厚みにより、それぞれのプローブのピッチを決定するようにしている。また、それぞれのプローブを所定の傾きをもってプローブ支持部材に固定し、被検査体に先端が当接した際の撓み方向が一方向となるようにしている。

請求項（抜粋）：

一端が被検査体に当接する先端を成し、他端がプリント基板上のプリントパターンに接続される導電性の多数のプローブと、前記プリント基板に直接、或は、間接的に固定され、前記多数のプローブを保持するプローブ支持部材とを備えたプローブ基板において、前記プローブは先鋭な先端を有した板状の弾性材より成り、それぞれのプローブは、それぞれの幅広面が絶縁物を介して対向するように、前記プローブ支持部材に所定の傾きをもって固定されることを特徴とするプローブ基板。

IPC (3件)：

G01R 1/073 ,  G01R 1/067 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (1件)

• プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-291688   出願人：富士通株式会社