特許
J-GLOBAL ID：200903033826282852
洩れ検査装置のドリフト値取得方法・ゼロ点変動値取得方法・洩れ検査装置のドリフト補正方法・洩れ検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-259370
公開番号（公開出願番号）：特開2003-106923
出願日： 2001年08月29日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：
【要約】【課題】 洩れ検査で発生するドリフトの影響を正確に除去する。【解決手段】 ワークの開口部分をシール治具によって閉塞し、この状態でワークの内部に空気圧を封じ込め、この空気圧の変化を測定して空気圧の低下量が大きいとき洩れ有り、空気圧の低下量が小さいとき洩れ無しと判定する洩れ検査装置において、校正時にワークとして洩れの無いワークを用意し、この洩れの無いワークとシール治具との間に所定の温度差を与え、この状態で洩れ検査を実施し、この洩れ検査で発生する圧力変化値をドリフト値Dと定め、任意の複数の温度差毎にドリフト値Dを求め、この温度差毎に記憶器に記憶させる。検査時はワークとシール治具の温度差からドリフト値を読み出すか、又は直線近似によりドリフト値を算出し、このドリフト値を利用してドリフトを除去する。
請求項（抜粋）：
被検査体の開口部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被検査体の内部に空気圧を封じ込め、この空気圧の変化を測定して空気圧の低下量が大きいとき洩れ有り、空気圧の低下量が小さいとき洩れ無しと判定する洩れ検査装置において、校正モードで上記被検査体に洩れの無い被検査体を用意し、この洩れの無い被検査体と上記シール治具との間に所定の温度差を与えた状態に設定し、この所定の温度差が与えられている状態で被検査体に空気圧を印加し、その空気圧の変動量をドリフト値として測定することを複数の温度差毎に実行し、複数の温度差のドリフト値をドリフト記憶器に記憶することを特徴とする洩れ検査装置のドリフト値取得方法。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G01M 3/00 J
, G01M 3/26 C
, G01M 3/26 D
, G01M 3/26 M
2G067AA14
, 2G067AA27
, 2G067BB04
, 2G067CC04
, 2G067DD02
, 2G067EE10
