ウェーハ研磨装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外12名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-155577
公開番号（公開出願番号）：特開平11-000860
出願日： 1997年06月12日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：

【要約】【課題】本発明は、ウェーハがキャリアから滑り出したことを検知可能とすることにより、ウェーハやウェーハ研磨装置の損傷を未然に防止することを課題とする。【解決手段】研磨すべきウェーハの一面を円盤状のキャリアにより保持して研磨パッドにウェーハの他面を当接させるウェーハ保持ヘッドに、キャリアの外周に同心状に配置されかつヘッド軸線方向に変位可能なリテーナリングと、リテーナリングを同心状かつ内部に配し内周面で当該リテーナリングを支持するヘッド本体とを設けるとともに、ヘッド本体に研磨中のウェーハがキャリアから滑り出したことを検知する検知手段を設け、この検知手段を研磨パッドに対するリテーナリングの上下方向の相対変位を検出する位置センサと、位置センサからの出力信号によりウェーハがキャリアから滑り出したか否かを判断する滑り判断手段とを備えた構成とした。

請求項（抜粋）：

表面に研磨パッドが貼付されたプラテンと、研磨すべきウェーハの一面を保持して前記研磨パッドにウェーハの他面を当接させる1または2以上のウェーハ保持ヘッドとを具備し、これらウェーハ保持ヘッドと前記プラテンとの相対運動により前記研磨パッドでウェーハ他面を研磨するウェーハ研磨装置であって、前記ウェーハ保持ヘッドは、研磨すべきウェーハの前記一面を保持するための円盤状のキャリアと、該キャリアの外周に同心状に配置されかつヘッド軸線方向に変位可能なリテーナリングと、円筒状に形成され前記リテーナリングを同心状かつ内部に配し内周面で該リテーナリングを支持するヘッド本体とを備えるとともに、該ヘッド本体に、研磨中のウェーハが前記キャリアから滑り出したことを検知する検知手段が設けられていることを特徴とするウェーハ研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 , B24B 37/00

FI (2件)：

B24B 37/04 E , B24B 37/00 Z

引用特許：

出願人引用 (5件)

ウェーハ研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-041076 出願人：三菱マテリアル株式会社
特開平2-106269
ラップ盤の異常検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-090814 出願人：株式会社村田製作所

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審査官引用 (5件)

ウェーハ研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-041076 出願人：三菱マテリアル株式会社
特開平2-106269
ラップ盤の異常検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-090814 出願人：株式会社村田製作所

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