特許
J-GLOBAL ID：200903033875601920
複合構造物作製装置および作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-189710
公開番号（公開出願番号）：特開2005-023365
出願日： 2003年07月01日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：
【課題】エアロゾルデポジション法による複合構造物作製において、エアロゾル中の微粒子の凝集粒を効率よく解砕し、長時間の構造物形成を可能とし、構造物の欠陥の発生を抑制する。【解決手段】エアロゾルデポジション法による複合構造物作製装置において、解砕器を使用し、解砕器には回転する解砕具を設けて、これにエアロゾルを衝突させて凝集粒を解砕させ、さらに解砕具の形状や材質に工夫を持たせ、また解砕具をクリーニングするブラシなどを設けることで、一次粒子に富んだエアロゾルを、効率よく、長時間に亘って不具合なく発生させることができ、ひいては複合構造物の形成効率を向上させ、また欠陥の発生を抑制することが可能となる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
脆性材料の微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材に向けてノズルより噴射して、前記エアロゾルを前記基板表面に衝突させ、この衝突の衝撃によって前記微粒子を破砕・変形させて接合させ、前記微粒子の構成材料からなる構造物を前記基材上に形成させる複合構造物作製装置であって、エアロゾルを発生させるエアロゾル発生器と、エアロゾルに含まれる微粒子の凝集を解砕する解砕器と、解砕されたエアロゾルを基材に向けて噴射するノズルを有し、前記解砕器が、前記解砕器内にエアロゾルを導入するためのひとつ以上の開口を有する導入口と、該導入口から導入されたエアロゾルを衝突させて解砕する回転運動を伴うひとつ以上の解砕具と、解砕されたエアロゾルを導出するひとつ以上の導出口からなることを特徴とする複合構造物作製装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
4K044AA01
, 4K044AA12
, 4K044AA13
, 4K044AA16
, 4K044BA01
, 4K044BA11
, 4K044CA23
, 4K044CA71
