特許
J-GLOBAL ID：200903086841485928
複合構造物の作製方法および作製装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
小山 有
, 小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-310585
公開番号（公開出願番号）：特開2001-181859
出願日： 2000年10月11日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：
【要約】【課題】 セラミック超微粒子を含むエアロゾルを高速で基板に吹き付けて、焼成させることなく緻密質のセラミック構造物を基板上に形成させた複合構造物の作製方法を提供する。またセラミック構造物を室温にて安定的に形成させる複合構造物形成装置を提供する。【解決手段】 セラミック超微粒子のエアロゾルを発生させ、分級あるいは解砕によりエアロゾル中の二次粒子を排除した後に、一次粒子あるいはそれに準じる粒径の粒子のみを基板上に吹き付けることにより、焼成させることなく高密度の緻密質のセラミック構造物を基板上に得る。また、振動する篩からセラミック超微粒子を落下させて、連続的に安定した濃度のエアロゾルを発生させることにより、基板あるいはノズルを一定速度で移動する操作で、一定の堆積厚みを保持させることができる。
請求項（抜粋）：
セラミック超微粒子を高速で基板に衝突させて複合構造物を作製する方法において、前記セラミック超微粒子を衝突により破砕して微細断片粒子を生成し、次いで前記微細断片粒子を前記基板へ接合あるいは微細断片粒子同士を接合させることにより、高密度の緻密質セラミック構造物を形成することを特徴とする複合構造物の作製方法。
引用特許：
引用文献：
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