特許

J-GLOBAL ID：200903033894311038

基板検査装置

発明者： 橋本 勝行
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (6件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  高柴 忠夫 ,  増井 裕士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-242638
公開番号（公開出願番号）：特開2008-064595
出願日： 2006年09月07日
公開日（公表日）： 2008年03月21日
要約：

【課題】基板の表面、裏面、端部部分の欠陥を効率良く検出できるようにする。【解決手段】基板検査装置1は、基板であるウェハWを搬送する搬送3とウェハWの検査をする検査部4とを有する。検査部4は、ウェハWを保持するウェハ保持部31と、ウェハWの裏面検査をする裏面検査部30とが検査ステージ25に搭載され、一軸方向に移動自在である。一軸方向の先端側にはウェハWの表面を検査する表面検査部81が設けられている。さらに、ウェハ保持部31に保持されたウェハWの位置決めをするアライメント部41と、ウェハWの端面検査をする端部検査部42とを有し、アライメントと端面検査を同時に行えるようになっている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を搬送する搬送部と、基板の検査を行う検査部とを有し、 前記検査部には、前記搬送部で搬送された基板を下側から保持する基板保持部と、前記基板保持部に保持された基板の表面画像を取得する表面検査部と、基板の裏面画像を取得する裏面検査部と、基板の端面の画像を取得する端部検査部とを有し、前記裏面検査部は、基板が前記搬送部から前記基板保持部に載置されるまでの間で裏面画像を取得するように配置されていることを特徴とする基板検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/956 ,  G01N 21/84 ,  G01N 21/958 ,  H01L 21/677 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G01N21/956 A ,  G01N21/84 C ,  G01N21/958 ,  H01L21/68 A ,  H01L21/30 502V

Fターム (24件)：

2G051AA51 ,  2G051AA73 ,  2G051AB01 ,  2G051AB08 ,  2G051BA01 ,  2G051BB09 ,  2G051BB11 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CC09 ,  2G051DA03 ,  2G051DA06 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031MA03 ,  5F031MA33 ,  5F031PA02

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 欠陥検査装置
  公報種別：再公表公報   出願番号：JP2002009762   出願人：オリンパス株式会社
• 端面欠陥の検査方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-382787   出願人：株式会社倉元製作所