特許
J-GLOBAL ID:200903033904198413
相変化ナノ粒子を含む相変化物質層を備える相変化メモリ素子及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
八田 幹雄
, 奈良 泰男
, 宇谷 勝幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-348039
公開番号(公開出願番号):特開2006-165553
出願日: 2005年12月01日
公開日(公表日): 2006年06月22日
要約:
【課題】相変化ナノ粒子を含む相変化物質層を備える相変化メモリ素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】相互に対向配置される第1電極40及び第2電極48と、第1電極と第2電極との間に介在されるものであって、相変化ナノ粒子を含む相変化物質層46と、第1電極に電気的に連結されるスイッチング素子30と、を備える相変化メモリ素子である。【選択図】図3
請求項(抜粋):
相互に対向配置される第1電極及び第2電極と、
前記第1電極と第2電極との間に介在されるものであって、相変化ナノ粒子を含む相変化物質層と、
前記第1電極に電気的に連結されるスイッチング素子と、を備えることを特徴とする相変化メモリ素子。
IPC (3件):
H01L 27/105
, H01L 45/00
, G11C 13/00
FI (3件):
H01L27/10 448
, H01L45/00 A
, G11C13/00 A
Fターム (3件):
5F083FZ10
, 5F083JA60
, 5F083PR33
引用特許: