特許
J-GLOBAL ID：200903033934670540
弾性境界波装置及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮▲崎▼主税
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-207320
公開番号（公開出願番号）：特開2007-028195
出願日： 2005年07月15日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：
【課題】 バンプ接合により高密度実装が可能であり、かつ水分の侵入等による特性の変動が生じ難い、信頼性に優れた弾性境界波装置を得る。 【解決手段】 圧電基板1A上にIDT9が形成されており、IDT9を覆うように絶縁膜7が積層されており、絶縁膜7上に吸音膜8が積層されており、アンダーバンプメタルを電解メッキにより形成するためのUBM下地層13が、絶縁膜7の開口部に至っており、絶縁膜7の開口部においてIDT9とUBM下地層13と電気的に接続している配線12に接続されており、吸音膜8にUBM下地層13の一部を露出している吸音膜開口部8aが形成されており、UBM下地層13が、絶縁膜7と吸音膜8との境界において給電ライン14に接続されており、該給電ラインから電流を通電することによりUBM下地層13上にUBMが電解メッキにより形成されている、弾性境界波装置6。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
第1の媒質と、前記第1の媒質上に設けられたIDTと、前記第1の媒質上において前記IDTを覆うように設けられた第2の媒質と、前記第2の媒質上に積層された第3の媒質とを有する弾性境界波装置において、
前記第1の媒質上に、前記IDTに電気的に接続されるように形成された配線を備え、
前記第2の媒質は、前記配線を部分的に露出させる第2の媒質開口部を有し、
前記第3の媒質が、第3の媒質開口部を有し、
前記第3の媒質開口部に形成されたアンダーバンプメタルと、
前記アンダーバンプメタルの下面に接合されており、前記第3の媒質と前記第2の媒質との間から前記第2の媒質開口部において前記第2の媒質と前記第1の媒質との界面に至っており、該界面において前記IDTと電気的に接続されているUBM下地層と、
前記第2の媒質と前記第3の媒質との界面において前記UBM下地層と電気的に接続されている給電ラインとをさらに備えることを特徴とする、弾性境界波装置。
IPC (3件)：
H03H 9/145
, H03H 3/08
, H03H 9/25
H03H9/145 C
, H03H3/08
, H03H9/25 A
5J097AA24
, 5J097AA29
, 5J097AA30
, 5J097BB01
, 5J097BB11
, 5J097DD28
, 5J097DD29
, 5J097EE08
, 5J097FF05
, 5J097GG01
, 5J097GG07
, 5J097HA02
, 5J097HA03
, 5J097HA07
, 5J097JJ06
, 5J097JJ09
, 5J097JJ10
, 5J097KK09
