特許

J-GLOBAL ID：200903033956439460

半導体試験装置

発明者： 滝沢 茂樹〓
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-191101
公開番号（公開出願番号）：特開平11-038086
出願日： 1997年07月16日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：

【要約】【課題】被試験デバイスに印加する高精度のタイミングが要求される差動信号の発生において、より高精度な差動信号を発生可能とする半導体試験装置を提供する。【解決手段】パターン発生器からの1チャンネルのパターン信号を受けて所定に波形整形して出力される波形整形信号を受けて、正負の差動信号に変換して出力する差動バッファを具備し、差動バッファが出力する正負の差動信号を受けて、DUTの差動入力端における正負の差動信号の位相タイミングを同一にする遅延手段を具備し、遅延手段が遅延付与した正負の差動信号を受けて、DUTの差動入力端に接続されるテスタピンを各々駆動するドライバを具備する手段。

請求項（抜粋）：

被試験デバイス(DUT)の差動入力端へ印加する高精度な差動のタイミング信号を発生する半導体試験装置において、パターン発生器からの1チャンネルのパターン信号を受けて所定に波形整形して出力される波形整形信号を受けて、正負の差動信号に変換して出力する差動バッファと、該差動バッファが出力する正負の差動信号を受けて、DUTの差動入力端における正負の差動信号の位相タイミングを同一にする遅延手段を直列に挿入して設け、該遅延手段が遅延付与した正負の差動信号を受けて、DUTの差動入力端に接続されるテスタピンを各々駆動するドライバと、以上を具備していることを特徴とした半導体試験装置。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• タイミング・アナライザ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-275565   出願人：テクトロニクス・インコーポレイテッド