特許

J-GLOBAL ID：200903033981534558

レンズユニット、形状検出装置、形状検出方法およびシートの製造方法

発明者： 中井 康博
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-203938
公開番号（公開出願番号）：特開2007-024559
出願日： 2005年07月13日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：

【課題】被検体表面の微細な凹凸を精度良く、かつ、広範囲にわたって高速に検出可能なレンズユニット、このレンズユニットを用いた形状検出装置、形状検出方法およびシートの製造方法を提供すること。 【解決手段】光分離手段に直線偏光を入射させて、光路が互いに平行でかつ進行方向に対して直交する第1の方向にずれた位置にある互いに直交する振動方向を有する2つの直線偏光を生成する。これらを被検体表面に照射し、反射光を合成して1つの光線をなす。この光線を検光子で直線偏光を生成し、ラインセンサカメラで受光して、被検体表面の形状を検出する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

直線偏光が入射すると、光路が互いに平行でかつ進行方向に対して直交する第1の方向にずれた位置にある、互いに直交する振動方向を有する2つの直線偏光を生成する光分離手段と、該光分離手段が生成した前記2つの直線偏光を被検体表面に照射する照射光学系と、前記被検体表面からの反射光を1つの光線に合成する光合成手段と、該光合成手段が合成した前記光線から直線偏光を生成する検光子と、該検光子が生成した前記直線偏光を受光する、前記第1の方向に対して60度以上90度以下の角をなす第2の方向に延びるラインセンサを有するラインセンサカメラを取り付けるカメラ取付部とを備えたレンズユニット。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30

FI (2件)：

G01N21/88 H ,  G01B11/30 A

Fターム (22件)：

2F065AA49 ,  2F065BB13 ,  2F065CC02 ,  2F065FF51 ,  2F065GG03 ,  2F065GG22 ,  2F065GG24 ,  2F065HH05 ,  2F065HH09 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL00 ,  2F065LL34 ,  2F065LL47 ,  2G051AA37 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA11 ,  2G051BB20 ,  2G051CA04 ,  2G051CB06 ,  2G051DA06

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 表面欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-097851   出願人：大日本インキ化学工業株式会社
• 金属板表面疵検査方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-133850   出願人：日本鋼管株式会社