特許

J-GLOBAL ID：200903034001687724

走査電子顕微鏡

発明者： 伊藤 寛征 ,  中川 美音 ,  兼岡 則幸
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-233767
公開番号（公開出願番号）：特開2003-045370
出願日： 2001年08月01日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：

【要約】【課題】 試料が傾斜し、且つ電子線の走査方向に対して回転している場合でも、常にフォーカスの合った状態で観察と分析が行えるようにした走査電子顕微鏡を提供すること。【解決手段】 試料7の観察・分析領域で、電子線4による同一走査線上の任意の2点の(x、y)座標から、制御部16により試料7の回転角度θを算出し、この回転角度θに基づいて1画素ごとのフォーカス電流変化量ΔIを計算し、これを対物レンズ6のフォーカス電流に重畳させることにより、フォーカスずれを防ぐようにした。【効果】 電子線の走査方向に対して試料7が回転している場合でも、試料7の観察・分析領域全面にフォーカスが合った像を簡易に得ることができる。

請求項（抜粋）：

電子線の試料の面に対する入射角度を、垂直方向から傾けて観察する方式の走査電子顕微鏡において、電子線の走査方向に対する試料の回転角度を検出する手段を設け、前記回転角度の検出結果に基づいて、前記電子線の前記試料面でのフォーカスずれを補正するように構成したことを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (4件)：

H01J 37/21 ,  G01N 23/207 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20

FI (4件)：

H01J 37/21 B ,  G01N 23/207 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20 D

Fターム (16件)：

2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001BA15 ,  2G001BA18 ,  2G001CA03 ,  2G001FA10 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA13 ,  2G001HA13 ,  2G001KA08 ,  2G001PA12 ,  5C001AA05 ,  5C001AA06 ,  5C001CC04 ,  5C033MM02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 走査型電子顕微鏡装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-270927   出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
• 磁性体観察用走査型電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-274075   出願人：株式会社日立製作所