セラミックヒータ及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-048354
公開番号（公開出願番号）：特開平11-251040
出願日： 1998年02月27日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【課題】セラミック体2中に埋設してある抵抗発熱体3の厚みばらつきを極めて小さくすることにより発熱面における温度分布が均一なセラミックヒータ1を提供する。【解決手段】高融点金属やそれらの合金あるいは導電性セラミックスの粉末に溶媒とバインダーを添加混練してテープ成形法により抵抗発熱体用のグリーンシートを製作し、金型により所定の発熱パターンに打ち抜いたものをセラミック体を構成するセラミックグリーンシート間に挟み込んでグリーンシート積層体を形成したあと脱脂し、次いで焼成することにより、帯状の抵抗発熱体4により構成される発熱パターン領域のほぼ中心点を通る少なくとも2本の線分により切断した切断面における各抵抗発熱体4の厚みtの最大値と最小値の差が、全切断面における抵抗発熱体4厚みの平均値の10%以下である発熱パターンを平板状のセラミック体2中に埋設してセラミックヒータ1を構成する。

請求項（抜粋）：

帯状の抵抗発熱体により構成される発熱パターン領域のほぼ中心点を通る少なくとも2本の線分により切断した切断面に現れる各抵抗発熱体の厚みの最大値と最小値の差が、全切断面に現れる抵抗発熱体厚みの平均値の10%以内である発熱パターンを平板状のセラミック体中に埋設してなるセラミックヒータ。

IPC (7件)：

H05B 3/18 , H01L 21/324 , H01L 21/68 , H05B 3/12 , H05B 3/14 , H05B 3/20 377 , H05B 3/20 393

FI (7件)：

H05B 3/18 , H01L 21/324 K , H01L 21/68 N , H05B 3/12 A , H05B 3/14 B , H05B 3/20 377 , H05B 3/20 393

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平4-324276
セラミックヒータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-106251 出願人：アダマンド工業株式会社

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