特許

J-GLOBAL ID：200903034049183400

静電チャックとそれを用いた異物検出方法

発明者： 小島 忠幸 ,  黒川 勝
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-231371
公開番号（公開出願番号）：特開平8-090474
出願日： 1994年09月27日
公開日（公表日）： 1996年04月09日
要約：

【要約】【目的】 半導体製造装置等において被加工物を吸着固定するために用いられる静電チャックに関し、被加工物と静電チャックとの間に介在する異物の有無を高精度に検出可能な異物検出方法の提供を目的とする。【構成】 上記目的と静電チャック本体が吸着面に生成された絶縁層と、互いに独立し絶縁層に沿って配設された複数対の電極と、電極の中から任意の電極を選択し直流電源に接続可能な電極切換部とを具えてなる本発明の静電チャックによって達成される。

請求項（抜粋）：

直流電源の正または負極に接続される電極を具えた静電チャック本体と該直流電源を具えた電源装置からなり、該電極の間に直流高電圧を印加し該静電チャック本体の吸着面に被加工物を吸着する静電チャックであって、該静電チャック本体が、該吸着面に生成された絶縁層と、互いに独立し該絶縁層に沿って配設された複数対の電極と、該電極の中から任意の電極を選択し該直流電源に接続可能な電極切換部とを具えてなることを特徴とする静電チャック。

IPC (6件)：

B25J 15/06 ,  B23Q 3/15 ,  G01N 27/22 ,  G01V 3/08 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 静電チャック装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-088800   出願人：株式会社東芝
• 特開平1-321136
  
• 特開平1-321136