特許
J-GLOBAL ID:200903034065348427

傾斜膜の製造方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高梨 幸雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-006942
公開番号(公開出願番号):特開2003-205235
出願日: 2002年01月16日
公開日(公表日): 2003年07月22日
要約:
【要約】【課題】 膜厚方向に連続的または不連続的に組成変化を持つ膜を、低コストで且つ容易に成膜する方法を提供する。【解決手段】 スプレー熱分解法を用いて異種元素の組成変化に対し、噴霧前に複数の原料を混合する方法と噴霧しながら混合するマルチノズルを用いる方法で連続的な組成変化を有する組成傾斜膜や不連続な多層膜を容易に作成した。
請求項(抜粋):
二種類以上の異種元素からなり、膜厚方向に対して連続的、または不連続的に組成が変化している組成変化膜をスプレー熱分解法により成膜する方法。
IPC (4件):
B01J 19/00 ,  C23C 16/46 ,  G02B 1/10 ,  H01L 21/205
FI (4件):
B01J 19/00 K ,  C23C 16/46 ,  H01L 21/205 ,  G02B 1/10 Z
Fターム (25件):
2K009AA00 ,  2K009BB02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC06 ,  2K009DD04 ,  2K009EE00 ,  4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075BA05 ,  4G075BB02 ,  4G075BB10 ,  4G075CA02 ,  4G075DA02 ,  4G075EA06 ,  4G075EC01 ,  4G075EC03 ,  4G075FA11 ,  4K030FA10 ,  4K030JA05 ,  4K030JA06 ,  4K030LA11 ,  5F045AA03 ,  5F045AB40 ,  5F045EB02 ,  5F045EF09
引用特許:
審査官引用 (1件)

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