特許
J-GLOBAL ID:200903034065348427
傾斜膜の製造方法および装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高梨 幸雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-006942
公開番号(公開出願番号):特開2003-205235
出願日: 2002年01月16日
公開日(公表日): 2003年07月22日
要約:
【要約】【課題】 膜厚方向に連続的または不連続的に組成変化を持つ膜を、低コストで且つ容易に成膜する方法を提供する。【解決手段】 スプレー熱分解法を用いて、異種元素の組成変化に対し、噴霧前に複数の原料を混合する方法と、噴霧しながら混合するマルチノズルを用いる方法で、連続的な組成変化を有する組成傾斜膜や、不連続な多層膜を容易に作成した。
請求項(抜粋):
二種類以上の異種元素からなり、膜厚方向に対して連続的、または不連続的に組成が変化している組成変化膜をスプレー熱分解法により成膜する方法。
IPC (4件):
B01J 19/00
, C23C 16/46
, G02B 1/10
, H01L 21/205
FI (4件):
B01J 19/00 K
, C23C 16/46
, H01L 21/205
, G02B 1/10 Z
Fターム (25件):
2K009AA00
, 2K009BB02
, 2K009CC03
, 2K009CC06
, 2K009DD04
, 2K009EE00
, 4G075AA24
, 4G075AA30
, 4G075BA05
, 4G075BB02
, 4G075BB10
, 4G075CA02
, 4G075DA02
, 4G075EA06
, 4G075EC01
, 4G075EC03
, 4G075FA11
, 4K030FA10
, 4K030JA05
, 4K030JA06
, 4K030LA11
, 5F045AA03
, 5F045AB40
, 5F045EB02
, 5F045EF09
引用特許:
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