特許

J-GLOBAL ID：200903034112358185

カーボンナノチューブ冷陰極を用いた電子ビーム装置

発明者： 長浜 一郎太 ,  山崎 裕一郎 ,  渡辺 賢治 ,  狩俣 努 ,  佐竹 徹
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  株式会社荏原製作所
代理人 (7件)： 社本 一夫 ,  千葉 昭男 ,  伊藤 茂 ,  星野 修 ,  神田 藤博 ,  内田 博 ,  宮前 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-202504
公開番号（公開出願番号）：特開2004-047254
出願日： 2002年07月11日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】試料に対し均一な電子を長時間安定に照射することができるチャージアップ中和用電子源を提供する。【解決手段】一次電子ビームと該ビームを試料表面に照射して、該試料の観察および又は評価を行う(SEM型または写像投影型の)電子ビーム装置であって、該試料の観察および又は評価の前工程、または、同一工程にて、該一次電子ビームとは別の電子源により、試料に電子を照射して、該試料のチャージアップを中和する装置を含む電子ビーム装置であって、当該別電子源にカーボンナノチューブ(CNT)冷陰極を使用する事を特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

一次電子ビームと該ビームを試料表面に照射して、該試料の観察および又は評価を行う(SEM型または写像投影型の)電子ビーム装置であって、該試料の観察および又は評価の前工程、または、同一工程にて、該一次電子ビームとは別の電子源により、試料に電子を照射して、該試料のチャージアップを中和する装置を含む電子ビーム装置であって、当該別電子源にカーボンナノチューブ(CNT)冷陰極を使用する事を特徴とする電子ビーム装置。

IPC (5件)：

H01J37/20 ,  H01J9/02 ,  H01J37/28 ,  H01J37/29 ,  H01L21/66

FI (5件)：

H01J37/20 H ,  H01J9/02 B ,  H01J37/28 B ,  H01J37/29 ,  H01L21/66 J

Fターム (17件)：

4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA38 ,  4M106DB05 ,  4M106DB18 ,  4M106DB30 ,  5C001CC04 ,  5C001CC08 ,  5C033UU03 ,  5C033UU10 ,  5C127AA04 ,  5C127BA01 ,  5C127BA15 ,  5C127CC03 ,  5C127DD09 ,  5C127DD93 ,  5C127EE02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 荷電粒子ビーム装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-064411   出願人：日本電子株式会社
• 特開昭54-100658
  
• カーボン・ナノチューブ作成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-379334   出願人：株式会社東北テクノアーチ