特許

J-GLOBAL ID：200903034168898735

光スキャナおよびそれを用いた光センサ装置

発明者： 池田 正哲 ,  坂田 稔 ,  後藤 博史
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 牛久 健司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-023023
公開番号（公開出願番号）：特開平9-197334
出願日： 1996年01月17日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【目的】 光スキャナの加工プロセスにおいて生じる共振特性のばらつきを簡易かつ微細に調整する。【構成】 振動子1の弾性変形部13には電気抵抗素子6が形成されている。電気抵抗素子6に通電することにより電気抵抗素子6が発熱し,弾性変形部13の温度が変化する。これにより弾性変形部13のばね定数が変化し,振動の共振周波数が変化する。

請求項（抜粋）：

一面に鏡面をもつ振動部と,振動が加えられる固定部と,上記振動部を上記固定部に連結し,少なくとも一方向に弾性的に変形する弾性変形部とを有する振動子,上記固定部に振動を加える加振装置,および上記振動部の鏡面に光を投射する光源とを備え,上記光源から上記振動部の鏡面に投射される光の反射光の方向が上記振動部の振動に応じて変化する光スキャナにおいて,上記弾性変形部にばね定数可変素子が設けられたことを特徴とする光スキャナ。

IPC (4件)：

G02B 26/10 104 ,  G01J 1/04 ,  G01V 8/10 ,  G01V 8/12

FI (4件)：

G02B 26/10 104 Z ,  G01J 1/04 G ,  G01V 9/04 U ,  G01V 9/04 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 静電アクチュエータ、該静電アクチュエータを備えたアクチュエータアレイ、光偏向器および情報処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-213117   出願人：キヤノン株式会社