カラーフィルタ用フォトマスクの洗浄装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-242185
公開番号（公開出願番号）：特開2007-057745
出願日： 2005年08月24日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：

【課題】フォトマスクの清浄度を著しく向上させ、フォトマスクの異物や汚れに起因した、パターンの黒欠陥、白欠陥、及び規格外のパターンの発生などを回避するために行っている、清浄なフォトマスクへの交換頻度を減少させることのできるカラーフィルタ用フォトマスクの洗浄装置を提供する。【解決手段】アルカリ洗浄液を用いてウエット洗浄を行う洗浄液洗浄部A、光洗浄を行う光洗浄部B、表裏反転する反転部C、上記洗浄液洗浄部、光洗浄部、反転部の各々の間でフォトマスクを搬送する搬送部Dを具備する。紫外線の主となる波長が165nm〜175nmである。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

カラーフィルタ用フォトマスクの洗浄装置において、少なくとも、カラーフィルタ用フォトマスクをアルカリ洗浄液を用いてウエット洗浄を行う洗浄液洗浄部、該カラーフィルタ用フォトマスクを紫外線を用いて光洗浄を行う光洗浄部、該カラーフィルタ用フォトマスクを表裏反転する反転部、上記洗浄液洗浄部、光洗浄部、反転部の各々の間で該カラーフィルタ用フォトマスクを搬送する搬送部を具備することを特徴とするカラーフィルタ用フォトマスクの洗浄装置。

IPC (7件)：

G03F 1/08 , H01L 21/027 , B08B 3/02 , B08B 7/00 , B08B 3/08 , G02F 1/13 , G02F 1/133

FI (7件)：

G03F1/08 X , H01L21/30 502P , B08B3/02 B , B08B7/00 , B08B3/08 Z , G02F1/13 101 , G02F1/1335 505

Fターム (29件)：

2H088FA21 , 2H088FA30 , 2H088HA12 , 2H088MA20 , 2H091FA02Y , 2H091FB04 , 2H091FC10 , 2H091FC23 , 2H091FC24 , 2H091FC29 , 2H091LA12 , 2H095BA12 , 2H095BB20 , 2H095BB22 , 3B116AA02 , 3B116AA03 , 3B116AB13 , 3B116AB35 , 3B116AB42 , 3B116BB42 , 3B116BC01 , 3B201AA02 , 3B201AA03 , 3B201AB13 , 3B201AB35 , 3B201AB42 , 3B201BB42 , 3B201BB92 , 3B201BC01

引用特許：

出願人引用 (1件)

フォトマスクの洗浄方法および洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-270240 出願人：東レ株式会社

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