特許
J-GLOBAL ID：200903034174444940

安全キャビネット

発明者：
小野 恵一

小野 恵一 について

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本間 圭一

本間 圭一 について

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森 由紀夫

森 由紀夫 について


出願人/特許権者：
株式会社日立産機システム

株式会社日立産機システム について


代理人 (1件)： 特許業務法人第一国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-040840
公開番号（公開出願番号）：特開2005-235882
出願日： 2004年02月18日
公開日（公表日）： 2005年09月02日
要約：
【課題】 作業空間内で不用になったものを廃棄する際の作業性の向上と、感染・コンタミを最小限にしたバイオハザード対策用安全キャビネットを提供する。【解決手段】 作業空間に清浄空気12を供給する給気系と、装置外へ空気を排出する排気系と、作業空間前面に形成する前面シャッタ9と、前面シャッタ9下部の作業空間に連接する前面開口部10と、前面開口部10下側の作業空間底面に形成した空気吸い込み口と、作業空間底面の板2と、作業空間下部の循環流路7と、作業空間底面に開口部を有する安全キャビネットにおいて、作業空間底面の開口部に脱着可能に取り付けた容器18を備え、容器18は、容器蓋17を有し、作業空間下部の循環流路7を貫通する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
送風手段により第一の空気清浄手段を通して作業空間に清浄空気を供給する給気系と、前記作業空間に連結する循環流路から排気手段により第二の空気清浄手段を介して装置外へ空気を排出する排気系と、前記作業空間前面に形成する前面シャッタと、該前面シャッタ下部の作業空間に連接する前面開口部と、該前面開口部下側の前記作業空間底面に形成した空気吸い込み口と、前記作業空間底面の板と、前記作業空間下部の循環流路と、前記作業空間底面に開口部を有する安全キャビネットにおいて、 前記作業空間底面の開口部に脱着可能に取り付けた容器を備え、該容器は、容器蓋を有し、前記作業空間下部の循環流路を貫通することを特徴とする安全キャビネット。
IPC (1件)：
H01L21/02
FI (1件)：
H01L21/02 D
Fターム (7件)：
4B029AA17 ,  4B029AA18 ,  4B029BB01 ,  4B029BB15 ,  4B029BB20 ,  4B029CC01 ,  4B029CC02
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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