特許

J-GLOBAL ID：200903034183420523

基板検出方法及び基板検出装置

発明者： 只隈 伸二 ,  黒田 修
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-104064
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299420
出願日： 2001年04月03日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：

【要約】【課題】 整列状態で処理部に搬送されて処理に供される複数の基板の枚数及び整列位置を検出する基板検出方法及び基板検出装置を提供すること。【解決手段】 適宜間隔をおいて整列された複数の半導体ウエハWの枚数及び位置を検出するに当たって、整列状態に保持された複数の半導体ウエハWの整列方向に沿って有無検出センサ62と位置検出センサ63を移動させて、半導体ウエハWの有無の検出を行うと同時に、半導体ウエハWの整列位置の検出を行い、有無検出センサ62と位置検出センサ63からの有無の検出情報と位置検出情報とに基づいて半導体ウエハWの枚数及び整列位置を検出する。

請求項（抜粋）：

適宜間隔をおいて整列された複数の基板の枚数及び位置を検出する基板検出方法であって、整列状態に保持された上記複数の基板の整列方向に沿って検出手段を移動させて、基板の有無の検出を行うと同時に、基板の整列位置の検出を行い、上記検出手段からの有無の検出情報と位置検出情報とに基づいて上記基板の枚数及び整列位置を検出することを特徴とする基板検出方法。

FI (2件)：

H01L 21/68 L ,  H01L 21/68 G

Fターム (23件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031EA14 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA13 ,  5F031FA15 ,  5F031FA19 ,  5F031FA25 ,  5F031HA73 ,  5F031JA22 ,  5F031JA25 ,  5F031JA43 ,  5F031LA13 ,  5F031MA02 ,  5F031MA07 ,  5F031MA23 ,  5F031NA10 ,  5F031PA30

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 基板搬入・搬出装置及びこれを用いた基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-173840   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 基板の検知装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-284807   出願人：東京エレクトロン株式会社
• カセット内の基板検出方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-040400   出願人：日東電工株式会社
• キャリア内におけるウェーハローディング状態検出方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-171786   出願人：三星電子株式会社