基板の検知装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩原康司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-284807
公開番号（公開出願番号）：特開平11-191546
出願日： 1994年08月08日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：

【要約】【課題】基板の存在を検出し,例えばその枚数などを検知することができる検知装置を提供する。【解決手段】保持部材82によって垂直に保持された複数枚の基板Wの整列方向に沿ってセンサ部材93を移動させ,センサ部材93に設けた発光部95と受光部96の間に基板Wの周縁部を通過させる。発光部95と受光部96の間を基板Wの周縁部が通過すると,発光部95から発せられた光が基板Wの周縁部で遮られて受光部96に受光されなくなり,基板Wの存在が検出される。また光が遮られた回数によって,基板Wの枚数を検知することができる。

請求項（抜粋）：

複数枚の基板を整列させて垂直に保持可能な保持部材と,この保持部材によって保持された複数枚の基板の整列方向に沿って移動するセンサ部材と,このセンサ部材に設けられ,基板の周縁部を挟んで対向配置された発光部及び受光部と,を備えた基板の検知装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-067647
ウエハ処理方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-357260 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-166465 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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