特許

J-GLOBAL ID：200903034190064660

3次元形状計測装置

発明者： 種子田 昭彦
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-099125
公開番号（公開出願番号）：特開2002-296018
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：

【要約】【課題】 簡単な構成で、共焦点の原理を用いて3次元形状領域の形状を計測する。【解決手段】 バンドルファイバ2は光源1からの出力光を受け伝送して出射光として出射する。対物レンズ6は、出射光を予め定められた方向(高さ方向)から3次元領域に対して入射光として集光する。この際、対物レンズの位置を高さ方向に変化させて入射光の焦点位置を変化させる。3次元領域から反射した反射光はバンドルファイバを介して伝送され、ビームスプリッタ5で反射されてCCDアレイ3に入力される。CCDアレイでは反射光の強度に応じた出力信号を出力する。そして、この出力信号に応じて3次元領域の形状が判定される。

請求項（抜粋）：

3次元領域の形状を共焦点作用によって計測する形状計測装置であって、光源からの出力光を受け伝送する伝送手段と、該伝送手段から出射される出射光を前記3次元領域に対して入射光として集光する集光手段と、該集光手段を移動させることで前記入射光の焦点位置を変化させる焦点位置変化手段と、前記3次元領域から反射した反射光を前記伝送手段を介して受け前記反射光の強度に応じて被測定物の形状を計測する計測手段と、を有することを特徴とする形状計測装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G02B 7/28

FI (2件)：

G01B 11/24 A ,  G02B 7/11 H

Fターム (29件)：

2F065AA06 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065DD02 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF10 ,  2F065GG02 ,  2F065GG06 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL30 ,  2F065LL33 ,  2F065LL59 ,  2F065MM14 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065SS13 ,  2F065UU03 ,  2F065UU06 ,  2H051AA00 ,  2H051CB14

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 共焦点顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-296637   出願人：横河電機株式会社
• 光診断システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-307409   出願人：オリンパス光学工業株式会社