特許

J-GLOBAL ID：200903034207899779

表面発光レーザ・ダイオード・アレイ

発明者： シー-ユアン・ウォン ,  マイケル・アール・ティー・タン
出願人/特許権者： ヒューレット・パッカード・カンパニー
代理人 (1件)： 上野 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-195845
公開番号（公開出願番号）：特開平8-032178
出願日： 1995年07月07日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】アレイにおける個別の表面発光レーザ・ダイオードを光学的および熱的に容易に分離するための方法を提供する。【構成】本発明の一実施例によれば、表面発光レーザ(SEL)アレイは、発光層と、発光層を挟む第1、第2のミラー層とを備えている。第1、第2のミラー層は、発光層で発生された光を発光層に向けて反射する。第1のミラー層は、該第1のミラー層を通って延びる複数の光分離領域を備えている。光分離領域は、発光層をそれぞれがSELに対応する複数の光発光領域に分割する。各光分離領域は、光発生領域の1つで発生された光が付近の光発生領域に伝播するのを防止する。光分離領域はトレンチ(溝)で構成される。トレンチは吸光材で充填することができ、また、熱伝導材を充填して熱放散経路を提供することもできる。光分離領域は、領域をイオン注入によって、または、不規則化することによって作製することもできる。

請求項（抜粋）：

光の通過に応答して、光を発生する発光層と、前記発光層の一方の側に配置され、前記発光層において発生された光を前記発光層に向けて反射する第1のミラー手段と、前記発光層の他の側に配置され、前記発光層において発生された光を前記発光層に向けて反射する第2のミラー手段と、前記第1のミラー手段を通って延び、前記発光層を複数の発光領域に分割する複数の光分離領域と、を備えて成る表面発光レーザ・ダイオード・アレイ。

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 光電子集積回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-044409   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開平3-011325
  
• 特開平2-056986
  
• 特開平2-128481
  

審査官引用 (3件)

• 光電子集積回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-044409   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開平3-011325
  
• 特開平2-056986