特許
J-GLOBAL ID:200903034215779928

物体の構造および/または模様に関する欠陥を検出する方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 土屋 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-348748
公開番号(公開出願番号):特開平7-190956
出願日: 1993年12月27日
公開日(公表日): 1995年07月28日
要約:
【要約】【目的】 欠点を含む各種の欠陥と欠陥ではない線状物とを完全に分離することができる信頼性の高い欠陥検出装置を提供する。【構成】 線(ワイヤ)11などの線状物を有する線入り板ガラス10などの検査対象物体を一定方向(矢印Y方向)に搬送させながら撮像して、その1走査毎に走査ラインに沿った1次元の2値画素データを出力する撮像手段を設け、処理ラインL1 から得られる処理データと、その直前に撮像された1走査ラインである処理ラインL0 の画素データであって既にラベル付けを終えたラベルデータとを上記走査ライン方向(矢印X方向)のアドレスがほぼ同一の画素毎に比較し、これらの比較結果に適合するルールに応じて線11または各種の欠陥12、13、14、16のラベルを、上記処理データの各画素に付けることによりラベル付けを行うように構成する。
請求項(抜粋):
検査対象物体に対応して順次得られる複数個の一次元画素データからこの検査対象物体の構造および/または模様に関する欠陥を検出する方法において、上記一次元画素データの各画素のラベル付けを、それ以前の一次元画素データの各画素に付けられる第1のラベルと、上記一次元画素データのうちのラベル付け対象の画素とは別の画素に付けられる第2のラベルとに応じて行うことと、このラベル付き画素のうちの少なくとも欠陥部分について、その特徴量を基準値と比較することとを備えている欠陥検出方法。
IPC (2件):
G01N 21/89 ,  G01N 21/88
引用特許:
出願人引用 (3件)
  • 欠陥検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-158525   出願人:三菱レイヨン株式会社
  • 特開平1-189549
  • 特開昭59-192944

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