特許

J-GLOBAL ID：200903034228624265

窒化アルミニウム焼結体、その製造方法および半導体製造用装置

発明者： 小林 廣道 ,  別所 裕樹 ,  森 行正
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-218158
公開番号（公開出願番号）：特開平9-048668
出願日： 1995年08月03日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：

【要約】【課題】窒化アルミニウム焼結体に焼結助剤や黒色化剤のような金属化合物、特に重金属化合物を添加することなく、窒化アルミニウム焼結体の明度を小さくし、その色を黒色に近づけること。【解決手段】窒化アルミニウム焼結体の主結晶相のX線回折チャートにおいて、主結晶相である窒化アルミニウムのピークの他に、X線回折角度2θ=44°〜45°にカーボンのピークが検出されることを特徴とする。好ましくは、窒化アルミニウム焼結体の結晶相が、AlNの主結晶相と、ALONからなる副結晶相と、カーボン相とを備えており、(AlN)x (Al2 OC)1-x 相を実質的に含有せず、JIS Z 8721に規定する明度がN4以下であり、窒化アルミニウム焼結体に含有されている炭素原子の割合が500ppm〜5000ppmである。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウムのX線回折チャートにおいて、主結晶相である窒化アルミニウムピークの他に、X線回折角度2θ=44°〜45°にカーボンのピークが検出されることを特徴とする、窒化アルミニウム焼結体。

IPC (6件)：

C04B 35/581 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/324 ,  H05B 3/02 ,  H05B 3/20 356

FI (7件)：

C04B 35/58 104 H ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/324 H ,  H01L 21/324 Z ,  H05B 3/02 B ,  H05B 3/20 356 ,  H01L 21/302 G

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-186479
  
• 窒化アルミニウム粉末およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-162091   出願人：川崎製鉄株式会社
• セラミツクスヒーター
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-262300   出願人：日本碍子株式会社