特許
J-GLOBAL ID：200903034258818064
変位計および変位測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
豊栖 康司
, 豊栖 康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-332826
公開番号（公開出願番号）：特開2005-098833
出願日： 2003年09月25日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：
【課題】被測定物の表面状態によらず安定した計測が可能な変位計および変位測定方法を提供する。【解決手段】変位計は、対物レンズ15を光軸方向と直交する平面に沿って移動させる対物レンズ走査部52と、対物レンズ走査部52により直交平面上で対物レンズ15が移動された位置を検出する対物レンズ移動検出部53と、対物レンズ移動検出部53によって検出される、測定領域指定部51で指定された測定領域に含まれる複数の測定ポイントにおける対物レンズ15の位置情報と、該複数の測定ポイントにおいて受光部で受光した受光量の極大値および位置検出部での振動位置を取得し、記憶する受光量ピークメモリ部72と、受光量ピークメモリ部72で記憶された受光量を積算し、積算された受光量に基づいて変位を演算する受光データ処理部73とを備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
被測定物(16)に投射する光を発生させる発光部と、
前記発光部から出射された光を受けて、被測定物(16)に投射する対物レンズ(15)と、
前記対物レンズ(15)を、所定の振幅で第1の方向に沿って振動させる加振部と、
第1の方向に前記対物レンズ(15)が移動された位置を検出する位置検出部と、
被測定物(16)からの反射光が通過する光絞り部と、
前記光絞り部を通過した光を受光する受光部と、
前記対物レンズ(15)を第1の方向と直交する第2の方向に沿って移動させる対物レンズ走査部(52)と、
前記対物レンズ走査部(52)により対物レンズ(15)を第2の方向に沿って所定の移動量で移動させる際、被測定物(16)上の複数の測定ポイントにおいてそれぞれ前記受光部で受光した受光量の極大値と、このとき前記位置検出部で検出される振動位置とを関連付けて記憶する受光量ピークメモリ部(72)と、
前記受光量ピークメモリ部(72)で記憶された受光量の極大値を、前記対物レンズ(15)の第1の方向における振動位置毎に積算し、積算された受光量に基づいて変位を演算する受光データ処理部(73)と、
を備えることを特徴とする変位計。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (17件)：
2F065AA06
, 2F065AA51
, 2F065BB01
, 2F065DD04
, 2F065FF44
, 2F065GG04
, 2F065GG07
, 2F065JJ18
, 2F065LL30
, 2F065LL46
, 2F065MM14
, 2F065PP12
, 2F065PP24
, 2F065QQ03
, 2F065QQ08
, 2F065QQ29
, 2F065SS01
出願人引用 (2件)
-
特許3300803号
-
変位計および変位測定方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-079122
出願人：株式会社キーエンス
審査官引用 (2件)
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位置検出装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-288040
出願人：株式会社トプコン
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走査形の共焦点顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-143983
出願人：コベックスコーポレイション
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