特許
J-GLOBAL ID：200903034284327559
層間絶縁膜用感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-341267
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162769
出願日： 1998年12月01日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：
【要約】【課題】 電子部品に用いられる保護膜などを形成するための材料、または層間絶縁膜、特に、液晶表示素子、集積回路素子、固体撮像素子などの層間絶縁膜を形成するための材料として好適な感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 [A](a1)重合性不飽和カルボン酸および/または重合性不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基含有重合性不飽和化合物、および(a3)前記(a1)および(a2)以外の重合性不飽和化合物、の共重合体、[B]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、並びに[C]感放射線重合開始剤を含有する層間絶縁膜用感放射線性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
[A](a1)重合性不飽和カルボン酸および/または重合性不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基含有重合性不飽和化合物、および(a3)前記(a1)および(a2)以外の重合性不飽和化合物、の共重合体、[B]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、並びに[C]感放射線重合開始剤を含有することを特徴とする層間絶縁膜用感放射線性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/033
, G02F 1/1333 505
, G03F 7/027 515
G03F 7/033
, G02F 1/1333 505
, G03F 7/027 515
2H025AA00
, 2H025AA06
, 2H025AA07
, 2H025AA08
, 2H025AA10
, 2H025AA18
, 2H025AA20
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AB20
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC12
, 2H025BC14
, 2H025BC31
, 2H025BC34
, 2H025BC43
, 2H025CA00
, 2H025CB06
, 2H025CB10
, 2H025CB11
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB16
, 2H025CB41
, 2H025CB43
, 2H025CB52
, 2H090HB13X
, 2H090HB17X
, 2H090HC05
