特許
J-GLOBAL ID：200903034285477368

微粒子のアレイをアセンブルする方法

発明者：
ジェイムス・マイスウィッチ

ジェイムス・マイスウィッチ について

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クリストファー・ビー・マレイ

クリストファー・ビー・マレイ について

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アレジャンドロ・ジー・シュロット

アレジャンドロ・ジー・シュロット について


出願人/特許権者：
インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション

インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション について


代理人 (1件)： 坂口 博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-031640
公開番号（公開出願番号）：特開2002-361600
出願日： 2002年02月08日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：
【要約】【課題】 強誘電体磁区を画定するために原子間力顕微鏡を用いて、微小粒子または分子のアレイをアセンブルする方法を提供する。【解決手段】 加工物を形成する基板11上に強誘電体薄膜12を付着し、次に、導電性探針13を有する原子間力顕微鏡を用いて、強誘電体薄膜上にパターンを形成して、所望のナノ回路パターンを画定する。次に、強誘電体薄膜の選択された領域に、電子泳動力の影響の下で選択的に吸着または蓄積する化学種を含む溶液に暴露する。
請求項（抜粋）：
原子間力顕微鏡を用いて、微粒子のアレイをアセンブルする方法であって、基板上に強誘電体膜を付着するステップと、前記強誘電体膜の上に、前記原子間力顕微鏡でパターンをトレースして、前記強誘電体膜上に、帯電した磁区および帯電しない磁区のトレースされたパターンを残すステップと、前記強誘電体膜のトレースされたパターン内に選択的に蓄積する、有機種で被覆されたナイサイズの粒子を有する組成物に、前記強誘電体膜を暴露するステップと、を含む方法。
IPC (5件)：
B82B 3/00 ,  G11B 5/85 ,  G11B 5/851 ,  H01L 21/027 ,  H01L 27/105
FI (5件)：
B82B 3/00 ,  G11B 5/85 ,  G11B 5/851 ,  H01L 21/30 502 D ,  H01L 27/10 444 C
Fターム (14件)：
5D112AA05 ,  5D112BB06 ,  5D112FA01 ,  5D112FB04 ,  5D112GA02 ,  5D112GA19 ,  5F046AA28 ,  5F083FR01 ,  5F083JA13 ,  5F083JA14 ,  5F083JA15 ,  5F083JA17 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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