特許

J-GLOBAL ID：200903049289700859

微小物の精密配置法

発明者： 不動寺 浩 ,  今野 武志 ,  江頭 満 ,  小林 幹彦 ,  新谷 紀雄
出願人/特許権者： 科学技術庁金属材料技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-342134
公開番号（公開出願番号）：特開2000-167387
出願日： 1998年12月01日
公開日（公表日）： 2000年06月20日
要約：

【要約】【課題】 効率的に、多量の粒子微小物を、1個づつ基板上に精密配置する。【解決手段】 絶縁性等の基板上に、集束イオンビーム等によって帯電スポットを形成し、サイズ200μm以下等の微小物を誘引・付着させる。

請求項（抜粋）：

絶縁性基板上に帯電スポットを形成し、1個の帯電スポット上に1個の微小物を誘引・付着させることを特徴とする微小物の精密配置法。

IPC (4件)：

B01J 19/08 ,  G02F 1/1339 500 ,  H01L 23/12 ,  H05K 3/34 505

FI (4件)：

B01J 19/08 Z ,  G02F 1/1339 500 ,  H05K 3/34 505 A ,  H01L 23/12 L

Fターム (13件)：

2H089NA11 ,  2H089QA12 ,  4G075AA65 ,  4G075AA70 ,  4G075BB02 ,  4G075BB04 ,  4G075BB08 ,  4G075CA39 ,  4G075EC21 ,  4G075EC30 ,  4G075FC15 ,  5E319AC01 ,  5E319CD25

引用特許：

審査官引用 (7件)

• 生体関連高分子の固定化装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-173731   出願人：住友金属工業株式会社
• 液晶表示素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-258914   出願人：積水化学工業株式会社
• 帯電式スペーサ粒子散布方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-245926   出願人：ソニー株式会社
• 特開平4-204417
  
• 液晶表示装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-212384   出願人：富士通株式会社
• ダイヤモンド基板のクリーニング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-335919   出願人：住友電気工業株式会社
• 液晶表示装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-046841   出願人：株式会社日立製作所, 日立デバイスエンジニアリング株式会社