特許
J-GLOBAL ID：200903034312018478
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-110678
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300758
出願日： 1997年04月28日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡において、広範囲にわたって高精度の形状測定を行う。【解決手段】 プローブを複数個配列することによって測定範囲を拡大し、各プローブで測定される変位信号について、プローブの配列に基づく位置ずれと各プローブ自体が持つ特性による誤差を補正し、さらに、各プローブによる測定データをつなぎ合わせて広範囲の像を得るものであり、同一ステージ4に複数のプローブ2を2次元的に配列したプローブアレイ3と、プローブアレイを3次元方向に移動可能とする移動手段5,7と、試料の表面形状の測定データを各プローブ毎に測定する変位検出手段10,11と、各プローブの位置誤差およびプローブ特性に基づいて、測定データを各プローブ毎に補正する測定データ補正手段12,14,15と、各プローブ毎の隣接する測定データの相互相関を求めて測定データのつなぎ合わせ合成像を生成する測定データ合成手段20を備える。
請求項（抜粋）：
同一ステージ上に複数のプローブを2次元的に配列したプローブアレイと、前記プローブアレイを3次元方向に移動可能とする移動手段と、プローブの変位信号と移動手段による移動量から、試料の表面形状の測定データを各プローブ毎に測定する変位検出手段と、各プローブの位置誤差およびプローブ特性に基づいて、前記測定データを各プローブ毎に補正する測定データ補正手段と、各プローブ毎の隣接する測定データの相互相関を求めることによって測定データをつなぎ合わせ、合成像を生成する測定データ合成手段を備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
