特許

J-GLOBAL ID：200903034327733050

配向層表面の形成方法

発明者： アレッサンドロ・シー・カレガリ ,  プラビーン・チャウダリ ,  ファード・イー・ドーニー ,  ジェームズ・ピー・ドイル ,  アイリーン・エイ・ギャリガン ,  ジェームズ・エイチ・グロウニア ,  ガレス・ジー・ホファム ,  ジェームズ・エイ・レーシー ,  シュイ=チー・リエン ,  ミンファ・ルー ,  アラン・イー・ローゼンブルース ,  ケイ=シウン・ヤン
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
代理人 (3件)： 坂口 博 ,  市位 嘉宏 ,  上野 剛史
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-558063
公開番号（公開出願番号）：特表2004-530790
出願日： 2001年11月30日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：

【課題】液晶ディスプレイ用の安定したプレチルト角を持つ非接触配向層を形成すること。【解決手段】配向層表面を作成するための1つの方法は、配向層上に表面を設ける。表面にイオンを打ち込み、イオン・ビームに反応性ガスを導入して、表面上のダングリング・ボンドを飽和させる。配向層表面を作成する別の方法は、配向層上に表面を設ける。表面にイオンを打ち込み、反応性成分でクエンチングして、表面上のダングリング・ボンドを飽和させる。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

配向層表面を形成するための方法であって、 前記配向層上の表面を設けるステップと、 前記表面にイオンを打ち込むステップと、 イオン・ビームに反応性ガスを導入して前記表面のダングリング・ボンドを飽和させるステップと を含む方法。

IPC (5件)：

C23C14/48 ,  B01J19/12 ,  C01B31/02 ,  C23C14/58 ,  G02F1/1337

FI (5件)：

C23C14/48 Z ,  B01J19/12 C ,  C01B31/02 101Z ,  C23C14/58 Z ,  G02F1/1337 515

Fターム (30件)：

2H090HB06Y ,  2H090HC03 ,  2H090HC13 ,  2H090MB12 ,  4G075AA30 ,  4G075BA05 ,  4G075BC08 ,  4G075CA39 ,  4G075CA51 ,  4G075CA62 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EB31 ,  4G146AA01 ,  4G146AB07 ,  4G146AD28 ,  4G146BA12 ,  4G146BC09 ,  4G146BC38B ,  4G146CB13 ,  4G146CB16 ,  4K029AA09 ,  4K029AA11 ,  4K029AA24 ,  4K029BA32 ,  4K029BA34 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA10 ,  4K029GA00

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 粒子ビ-ム配向を用いる液晶ディスプレイの乾式製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-038317   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• 特開平1-103989
  
• 特開平1-103989
  
• 液晶配向層の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-038336   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• 特開平1-103989