特許

J-GLOBAL ID：200903013957801048

粒子ビ-ム配向を用いる液晶ディスプレイの乾式製法

発明者： アレッサンドロ・チェザーレ・カレガリ ,  プラヴェーン・チャウダリ ,  ジェームズ・パトリック・ドイル ,  ジェームズ・アンドリュー・レイシー ,  シュイ=チン・アラン・リエン ,  サムパト・プルショタマン ,  マヘシュ・ゴーヴィンド・サマント ,  ジェームズ・エル・スペイデル ,  ヨアヒム・ストア
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 坂口 博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-038317
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271773
出願日： 1999年02月17日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：

【要約】【課題】 液晶ディスプレイの液晶セルを形成する方法を提供する。【解決手段】 まず、プラズマ強化化学的気相付着(PECVD)などの乾式加工法を用いて乾式加工配向膜を第1の透明基板上に付着させる。次に、液晶分子を配向させるために、この乾式加工配向膜を粒子ビームで照射してこの配向膜の原子構造を少なくとも1つの所望の方向に配列させる。乾式加工法を用いて別の乾式加工配向膜を第2の基板上に付着させ、同様に粒子ビームで照射する。次に、この第1の透明基板および第2の基板を間隔を持って互いに隣接するそれぞれの配向膜で挟む。次に、この膜間のスペースを液晶材料で充填する。

請求項（抜粋）：

a)非水性気体環境付着法を使用して基板上に膜を付着させるステップとb)前記付着した膜を粒子ビームにより指定の角度で照射して、前記膜の原子構造を少なくとも1つの所定の方向に配列するステップとを含む、配向した分子構造を示す膜を基板上に形成する方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-083017
  
• 配向膜の配向処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-051030   出願人：日新電機株式会社, 株式会社イー・エッチ・シー
• 液晶表示素子における配向膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-351429   出願人：カシオ計算機株式会社
• 単結晶薄膜形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-010900   出願人：株式会社メガチップス