特許

J-GLOBAL ID：200903034389748371

レジスト材用単量体および酸解離性樹脂

発明者： 西久保 忠臣 ,  亀山 敦 ,  工藤 宏人
出願人/特許権者： JSR株式会社 ,  学校法人神奈川大学
代理人 (1件)： 和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-133995
公開番号（公開出願番号）：特開2003-327686
出願日： 2002年05月09日
公開日（公表日）： 2003年11月19日
要約：

【要約】【課題】 放射線に対する透明性が高く、レジストに要求される基本性能を満たすレジストを形成するための単量体および化学増幅型レジストに用いられる酸解離性樹脂の提供を目的とする。【解決手段】 アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ易溶性となる酸解離性樹脂は、式(5)で表される繰り返し単位を主として含有する。【化1】(ここでR1は炭化水素、脂環族炭化水素、またはフッ素原子を含む2価の有機基であり、R2はフッ素原子を含む2価の有機基である。)

請求項（抜粋）：

下記式(1)で表されるレジスト材用単量体。【化1】(ここでR1は炭化水素、脂環族炭化水素、またはフッ素原子を含む2価の有機基である。)

IPC (4件)：

C08G 65/00 ,  C07C 43/225 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 601

FI (4件)：

C08G 65/00 ,  C07C 43/225 C ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 601

Fターム (21件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB41 ,  2H025FA17 ,  4H006AA01 ,  4H006AB46 ,  4H006GP03 ,  4H006GP20 ,  4J005AB00 ,  4J005BA00 ,  4J005BB01 ,  4J005BB02