プロキシミティ露光装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯塚義仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-189272
公開番号（公開出願番号）：特開平11-026364
出願日： 1997年06月30日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】ガラス基板及びフォトマスクを常時所望の温度に調節する。【解決手段】フォトマスクの温度調節手段はフォトマスクの上面方向に設けられたエアー吹き出し口であって、このエアー吹き出し口から吹き出すエアーの方向をルーバによって可変し、フォトマスク全面にエアーを供給するように構成されている。ガラス基板の温度調節手段はローダユニット上でガラス基板に冷却用のクーリングプレートを接触させることによって、ガラス基板の温度を調節する。また、別のガラス基板の温度調節手段はガラス基板をローダユニットから露光チャック上に搬送する間に、ガラス基板の上面から冷却用のエアーをガラス基板表面に吹きつけることによってガラス基板の温度を調節する。

請求項（抜粋）：

露光用のフォトマスクの温度を調節する温度調節手段を備えたプロキシミティ露光装置において、前記温度調節手段がフォトマスクの上面方向に設けられたエアー吹き出し口であって、このエアー吹き出し口から吹き出すエアーの方向をルーバによって可変し、前記フォトマスク全面にエアーを供給するように構成されていることを特徴とするプロキシミティ露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 509 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 502 H

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-132445
自動露光機の吸着式基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-275392 出願人：イビデン株式会社
特開平4-115516

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