自動露光機の吸着式基板搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-275392
公開番号（公開出願番号）：特開平8-137114
出願日： 1994年11月09日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：

【要約】【目的】露光工程におけるレジストの取られを確実に防止することができる自動露光機の吸着式基板搬送装置を提供すること。【構成】自動露光機1の吸着式基板搬送装置としてのスタンパ5は、液状フォトレジストが塗布された基板としての銅張積層板2を真空吸着し、その吸着された銅張積層板2をアライメントステージ4上まで搬送する。スタンパ5の吸着面5aには、フッ素ゴムのコーティングによる保護膜15が形成されている。従って、吸着面5aに半硬化状態のフォトレジストが付着しにくくなる。

請求項（抜粋）：

レジストが塗布された基板を真空吸着し、その吸着された基板をアライメントステージ上まで搬送する自動露光機の吸着式基板搬送装置において、前記吸着式基板搬送装置の吸着面にフッ素樹脂加工を施した自動露光機の吸着式基板搬送装置。

IPC (4件)：

G03F 9/00 , H01L 21/027 , H01L 21/68 , H05K 3/00

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平4-307552
吸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-303843 出願人：東芝機械株式会社
特開昭62-040458

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