特許
J-GLOBAL ID：200903034426456734
物理量検出器
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-199130
公開番号（公開出願番号）：特開2004-045048
出願日： 2002年07月08日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：
【課題】圧力センサの小型、高精度化を図る。【解決手段】Zr、TiまたはPdを主成分とした過冷却液体領域を有し金属ガラスを生成する組成の合金を過冷却液体領域で鍛造してダイアフラムである起歪部(2)を形成し、この起歪部(2)の表面に絶縁膜(7)を形成し、この絶縁膜(7)上に金属又は半導体薄膜の歪みゲージ(8)を形成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
Zr、TiまたはPdを主成分とした過冷却液体領域を有し金属ガラスを生成する組成の合金を過冷却液体領域で鍛造して起歪部を形成し、この起歪部の表面に絶縁膜を形成し、この絶縁膜上に金属又は半導体薄膜の歪みゲージを形成したことを特徴とする物理量検出器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
2F049BA13
, 2F049CA07
, 2F049DA01
, 2F055AA40
, 2F055BB20
, 2F055CC02
, 2F055DD02
, 2F055EE13
, 2F055FF11
, 2F055GG11
審査官引用 (5件)
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非晶質合金製の梁構造体とその作製方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-283624
出願人：オリンパス光学工業株式会社
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圧力センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-113084
出願人：長野計器株式会社
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特開平4-366739
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