特許
J-GLOBAL ID：200903034511983069
収容器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土屋 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-241785
公開番号（公開出願番号）：特開平11-059777
出願日： 1997年08月22日
公開日（公表日）： 1999年03月02日
要約：
【要約】【課題】 収容器を対象とする処理を短時間で行うことができ、収容器を対象とする設備や装備の構造も簡単でよい収容器を提供する。【解決手段】 ウェハキャリア31の外形の寸法が単一種類であり、収容部33の内側寸法が複数種類である。このため、複数種類の寸法のウェハ32をがたつきなく正確に位置決めした状態で収容することができるにも拘らず、ウェハキャリア31を対象とする設備や装備を外形に応じて調整する必要がなくて、ウェハキャリア31を対象とする処理を短時間で行うことができ、ウェハキャリア31を対象とする設備や装備の構造も簡単でよい。
請求項（抜粋）：
単一種類の寸法を有する外形と、複数種類の内側寸法を有する収容部とを具備することを特徴とする収容器。
IPC (3件)：
B65D 85/86
, B65D 1/22
, H01L 21/68
B65D 85/38 R
, B65D 1/22
, H01L 21/68 V
