特許
J-GLOBAL ID：200903034528563268
電子放出素子およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-161506
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012124
出願日： 1996年06月21日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：
【要約】【課題】 冷陰極電子源の電流強度の時間的安定性を改良すること。【解決手段】 カーボンナノチューブを電子源とし、該電子源を規則正しく配列した陽極酸化膜の細孔中に設けることにより電子放出素子を構成する。上記の電子放出素子を、?@陽極酸化膜の細孔中に金属触媒を析出させる工程と、?A該金属触媒の触媒作用を利用して陽極酸化膜の細孔中にカーボンナノチューブを形成する工程、を有する方法により製造する。
請求項（抜粋）：
電子源と引き出し電極を備え、引き出し電極によって電子源から電子を引き出し放出させる機能を有する電子放出素子において、カーボンナノチュ-ブを電子源とする電子放出素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 1/30 A
, H01J 9/02 B
