特許
J-GLOBAL ID：200903034528820210
磁気抵抗センサの感磁特性試験装置および感磁特性試験方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-198390
公開番号（公開出願番号）：特開平9-050601
出願日： 1995年08月03日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：
【要約】【課題】 測定効率の良い磁気抵抗センサの感磁特性試験装置を得る。【解決手段】 シーケンサ8によって磁界印加電源4から発生する磁界の大きさを徐々に上昇させそのときヘルムホルツコイル2から発生する磁気抵抗センサ1の感磁特性および磁気抵抗センサ1付近の磁界をガウスメータプローブで検出してガウスメータ7によって測定し、それらをシーケンサ8に取り込んで磁界に対する感磁特性の変化を測定する。
請求項（抜粋）：
供給される電圧に対応した磁界を発生するヘルムホルツコイルと、前記ヘルムホルツコイルに磁界発生用の電圧を供給する磁界印加電源と、前記ヘルムホルツコイルによって発生する磁界中に置かれた磁気抵抗センサ付近の磁界の大きさを検出するガウスメータプローブと、前記ガウスメータプローブで検出した磁界を測定するガウスメータと、前記磁界印加電源の電圧を徐々に上昇制御すると共にその制御に対応して変化する磁界による磁気抵抗センサの感磁特性およびガウスメータで測定した磁界の大きさを同時に検出するシーケンサとを備えたことを特徴とする磁気抵抗センサの感磁特性試験装置。
引用特許：
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