特許

J-GLOBAL ID：200903034535407042

ダイシングテープ用光照射装置および光照射方法

発明者： 入江 栄一
出願人/特許権者： リンテック株式会社
代理人 (1件)： 小橋川 洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-338311
公開番号（公開出願番号）：特開平9-162141
出願日： 1995年12月02日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】 ダイシングテープに照射される光の照度を一定に制御する。【解決手段】 半導体ウェハ21はダイシングテープ19に固定された上でチャンバ11に截置される。ダイシングテープ19は下側から高圧水銀ランプ5で照射されて粘着剤が硬化される。電源部29はインバータを備え矩形波交流を出力してランプ5を駆動する。操作部39は、基準照度を設定する基準照度設定部41と、チェンバ11の移動速度を設定する速度設定部43とを備えている。反射鏡7に形成された小孔7aからの光を、光ファイバ31を通して光検出センサ33で受光してランプ5の照度を検出する。制御部35はランプ5の照度が基準照度になるように電源部29からの電力供給を制御する。駆動部35は、操作部39で設定された速度でチェンバ11を移動させる。

請求項（抜粋）：

ダイシングテープ上に塗布された粘着剤を硬化させるための光を照射する光源と、前記光源に電力を供給する電源手段と、基準照度を設定する手段と、前記光の照度が基準照度になるように前記電源手段から供給される電力を制御する制御手段とを設けたことを特徴とするダイシングテープ用光照射装置。

FI (2件)：

H01L 21/78 M ,  H01L 21/78 P

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-212422
  
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-185263   出願人：キヤノン株式会社