金属酸化物薄膜の形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-307565
公開番号（公開出願番号）：特開平6-136162
出願日： 1992年10月21日
公開日（公表日）： 1994年05月17日
要約：

【要約】【構成】金属アルコキシド溶液を基体に塗布し、この塗膜を乾燥、熱処理して上記金属アルコキシドを加水分解、縮合することにより上記基体上に金属酸化物薄膜を形成させる過程で、上記塗膜に対し紫外線照射処理を行うことを特徴とする金属酸化物薄膜の形成方法。【効果】本発明によれば、比較的低温度で簡単かつ確実に金属酸化物薄膜を形成でき、特にプラスチックフィルムへの金属酸化物薄膜形成に有効である。

請求項（抜粋）：

金属アルコキシド溶液を基体に塗布し、この塗膜を乾燥、熱処理して上記金属アルコキシドを加水分解、縮合することにより上記基体上に金属酸化物薄膜を形成させる過程で、上記塗膜に対し紫外線照射処理を行うことを特徴とする金属酸化物薄膜の形成方法。

IPC (3件)：

C08J 7/04 , C01B 13/14 , C09D183/02 PMN

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-111880
特開昭62-295931
複合プラスチツクシート
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-355383 出願人：株式会社ケミトロニクス

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