特許
J-GLOBAL ID：200903034640960202
マルチビーム露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-366815
公開番号（公開出願番号）：特開平11-194285
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：
【要約】【課題】複数のビームを走査する露光装置において、各ビーム相互のずれを低減して画像を正確に重ね合わせ、色ずれまたは線画のぼけおよびにじみの生じない露光装置を提供する【解決手段】この発明の露光装置1は、光偏向装置7と像面との間の結像レンズ21と水平同期検出用光検出器23との間の光路中に、主走査方向に関して、光源からのレーザビームの温度の変化による波長の変動にあわせて出射角を変え、波長の差によって結像レンズにより発生する位置ずれ量と量が同じで逆向きの方向にビーム位置をずらすことのできるプリズム27を有し、色成分に分けられた色毎に2本のレーザビームを出射する光源3からの光ビームの波長が温度の変化により変動した場合であっても、水平同期検出用光検出器の検出面上の同じ位置に案内できる。
請求項（抜粋）：
複数の光源と、この複数の光源からの光に所定の特性を与える偏向前光学手段と、この偏向前光学手段からの光を第1の方向へ偏向する偏向手段と、この偏向手段によって偏向された光を所定の像面に等速度で結像させるレンズと、前記レンズを通過した光を検出して所定の信号を出力する光検知手段と、を有するマルチビーム露光装置において、前記偏向手段と前記検知手段との間の光路中に、前記複数の光源のそれぞれから放射される光の波長の変動に対応して出射角を変える光学素子を配置したことを特徴とするマルチビーム露光装置。
引用特許：
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