特許
J-GLOBAL ID：200903034680202971
フラットな対象物を搬送するためのデバイスならびにフラットな対象物を搬送デバイスと処理装置との間にわたって搬送するための方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-535897
公開番号（公開出願番号）：特表2001-516500
出願日： 1997年04月02日
公開日（公表日）： 2001年09月25日
要約：
【要約】本発明は、特定の雰囲気内に制限されたフラットな対象物を搬送するためのデバイスに関するものであって、複数の薄くかつフラットなセル(31)が設けられている少なくとも1つのアセンブリを具備し、セルは、前記アセンブリの側面(32)において開口しているとともに、平行に配置され、かつ、同一の通気システムによって連結され、各セルは、フラットな対象物(10)を受領し得るよう構成されているとともに、個別のドア(33)によって閉塞され得るよう構成されている。本発明は、また、フラットな対象物(10)を前記デバイスと処理装置との間にわたって、特に前記デバイスと真空処理装置との間にわたって、搬送するための方法に関するものである。
請求項（抜粋）：
特定の雰囲気内に収容されたフラットな対象物を搬送するためのデバイスであって、 複数の薄くかつフラットなセル(31)が設けられている少なくとも1つのアセンブリ(30;39)を具備し、 前記セルは、前記アセンブリの側面(32)において開口しているとともに、平行に配置され、かつ、同一の通気システムによって連結され、 各セル(31)は、フラットな対象物(10)を受領し得るよう構成されているとともに、個別のドア(33)によって閉塞され得るよう構成されていることを特徴とするデバイス。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/68 T
, B65D 85/57 B
, H01L 21/68 A
