特許
J-GLOBAL ID：200903034696295856
プラズマ重合処理装置の給/排気システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-565424
公開番号（公開出願番号）：特表2003-526011
出願日： 2001年03月02日
公開日（公表日）： 2003年09月02日
要約：
【要約】本発明は、基材を連続的に移動し得る少なくとも1つの重合チャンバを有するプラズマ重合処理装置において、前記重合チャンバの内部にガスを注入するガス注入部及び該ガス注入部を通って注入された後、反応したガスが排気されるガス排気部を有し、前記重合チャンバの内部の基材の移動方向に対してガス流動方向が実質的に平行するように前記ガス注入部及びガス排気部を配置したことを特徴とするプラズマ重合処理装置の給/排気システムを提供する。
請求項（抜粋）：
基材を連続的に移動し得る重合チャンバを有するプラズマ重合処理装置において、前記重合チャンバにガスを注入するガス注入部及び該ガス注入部を通って注入された後、反応したガスが排気されるガス排気部を有し、前記重合チャンバの内部の基材の移動方向に対してガス流動方向が実質的に平行するように前記ガス注入部及びガス排気部を配置したことを特徴とするプラズマ重合処理装置の給/排気システム。
Fターム (5件)：
4K030BA61
, 4K030CA17
, 4K030EA06
, 4K030EA11
, 4K030GA14
